優(yōu)化使用點(diǎn)的廢氣處理系統(tǒng)
高科技行業(yè)通常具有創(chuàng)新周期短的特點(diǎn)。除了設(shè)計(jì)新廢氣處理系統(tǒng)之外，一旦開(kāi)發(fā)過(guò)程完成，DAS 產(chǎn)品設(shè)計(jì)人員還將繼續(xù)優(yōu)化并加強(qiáng)現(xiàn)有的系統(tǒng)。
直接的廢氣治理優(yōu)化
對(duì)于客戶(hù)而言，工藝過(guò)程優(yōu)化經(jīng)常會(huì)引起工藝過(guò)程廢氣的成分和數(shù)量發(fā)生變動(dòng)，從而導(dǎo)致關(guān)于廢氣處理系統(tǒng)的要求產(chǎn)生變化。對(duì)于系統(tǒng)部件和模塊的多變行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，也需要在廢氣處理系統(tǒng)方面進(jìn)行持續(xù)的進(jìn)一步開(kāi)發(fā)。
為了確保每一個(gè)客戶(hù)都獲得的廢氣處理解決方案的持續(xù)開(kāi)發(fā)與改進(jìn)，我們已經(jīng)建立了持續(xù)改進(jìn)程序（CIP）過(guò)程，該過(guò)程能夠通過(guò)單獨(dú)部件及軟件的變更、補(bǔ)充及新布置實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)類(lèi)型或系統(tǒng)模塊的加強(qiáng)。在現(xiàn)場(chǎng)傅里葉變換紅外光譜學(xué)（FTIR）測(cè)量的支持之下，CIP 過(guò)程將對(duì)系統(tǒng)從產(chǎn)品開(kāi)發(fā)到調(diào)試和維護(hù)的整個(gè)生命周期進(jìn)行監(jiān)視。
我們實(shí)現(xiàn)廢氣處理系統(tǒng)優(yōu)化的 CIP 過(guò)程
我們的廢氣處理系統(tǒng)改進(jìn)包括改造現(xiàn)有系統(tǒng)以及重新設(shè)計(jì)產(chǎn)品系列。通過(guò)我們的服務(wù)及產(chǎn)品管理定期收集并合并的客戶(hù)反饋和現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)，對(duì)于實(shí)現(xiàn)高效優(yōu)化具有重要意義。我們將在自身的德累斯頓實(shí)驗(yàn)室或者在與客戶(hù)商議之后直接在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)較大的技術(shù)變更進(jìn)行測(cè)試。在修改系統(tǒng)、記錄或?qū)嵤┫到y(tǒng)改進(jìn)后，我們將向客戶(hù)發(fā)出變更通知。
利用 FTIR 測(cè)量?jī)?yōu)化廢氣處理
為了監(jiān)視客戶(hù)的廢氣處理系統(tǒng)，DAS 采用了傅里葉變換紅外（FTIR）測(cè)量。我們的內(nèi)部 FTIR 光譜儀將測(cè)量過(guò)程流水線上的廢氣流入與流出濃度。執(zhí)行這項(xiàng)測(cè)量有三個(gè)策略上的不同原因。
1. 測(cè)量廢氣處理系統(tǒng)的效率
在這個(gè)規(guī)程中，將在廢氣處理后依靠質(zhì)量流量控制器（MFC）規(guī)定的特定工藝氣體流量對(duì)質(zhì)量流量或質(zhì)量濃度進(jìn)行測(cè)量。這個(gè)規(guī)程可以實(shí)現(xiàn)對(duì)廢氣處理系統(tǒng)的高效測(cè)量，是一種快速而又方便的測(cè)量規(guī)程。此外，還可以避免處理濃縮的廢氣。
2. 測(cè)量總治理效率
這個(gè)規(guī)程將對(duì)處理后的工藝過(guò)程廢氣質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量。這可以測(cè)量總生產(chǎn)排放量與大氣負(fù)荷；還可以對(duì)工藝氣體與副產(chǎn)品進(jìn)行捕捉。這個(gè)測(cè)量規(guī)程簡(jiǎn)單而又快速，而測(cè)量結(jié)果將表明工藝過(guò)程與廢氣處理系統(tǒng)（工藝過(guò)程系統(tǒng)＋泵＋廢氣處理）的綜合分離效率。不過(guò)，這不能提供關(guān)于廢氣處理系統(tǒng)效率的詳細(xì)情況。
3. 測(cè)量排放量
這個(gè)測(cè)量規(guī)程將確定持續(xù)生產(chǎn)期間在廢氣處理后的質(zhì)量流量，并且可以對(duì)所有的工藝過(guò)程排放物與大氣負(fù)荷進(jìn)行捕捉。這種方法也易于實(shí)現(xiàn)，并且不需要處理高濃度的廢氣。
DAS 供應(yīng)的 FTIR 測(cè)量符合每一個(gè)客戶(hù)的廢氣處理系統(tǒng)規(guī)格，可以提供質(zhì)量控制，并且可以作為可靠的指導(dǎo)方針，為我們的處理系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)持續(xù)的優(yōu)化。DAS還提供符合測(cè)試與認(rèn)證機(jī)構(gòu)要求的測(cè)量。