適用于高科技制造的廢氣處理系統
自 1991 年以來，戴思 DAS Environmental Expert 就在開發和生產用于全球高科技行業中廢氣處理的客戶特定使用點設施。原則上，戴思 DAS Environmental Expert 洗滌器可以處理具有可冷凝性、易燃性、腐蝕性、活性、毒性和/或自燃性的氣體（例如：硅烷、硅烷有機物、松油醇、氫氣、氨氣或鹵化氫）和細微的粉塵。
用于在使用點進行廢氣處理的工藝與產品組合
我們在德累斯頓及世界各地的團隊具備豐富的技術專長，這將使我們在半導體/ MEMS、光電、平板與 LED 行業中的客戶獲益。我們對于客戶的制造工藝過程具有詳細的知識，這意味著我們明白廢氣對于制造工藝過程的安全而言至關緊要。我們運用這項專長可以為客戶提供量身定制的有效解決方案。針對各個行業，我們開發并生產了使用點洗滌器，適用于最高可達 5,000 m3/h的廢氣流量。
如果需要，我們還提供集成廢氣處理概念，可以在我們的系統中包含您選擇的真空泵或者包含其它部件，例如：干燥床解決方案。我們也提供自身不同技術的智能化組合，以便形成一個完整的系統，完美地適應您的工藝過程要求。我們的使用點廢氣處理產品組合包括了四個技術組別。
燃燒/水洗技術
在可能最小的空間中組合兩個操作規程——燃燒與水洗，以我們的 ESCAPE 技術為基礎；自 DAS 成立以來，對這項技術持續進行了進一步的開發。將廢氣導入環形燃燒器裝置。根據廢氣的化學成分，會發生各種反應（氧化、還原、熱解）。在隨后的洗滌過程中，燃燒生成的可溶性氣態與固態化合物將由適當的洗滌液體進行吸收和冷卻。
廢氣處理－熱解
工藝過程廢氣將在一個分解區中進行燃燒。需要時，可以采用某種燃料氣體。根據廢氣的化學成分，會發生各種反應，例如：氧化、還原或熱解。
燃燒器產品系列 LARCH 專為 LED 行業中的 MOCVD 工藝過程而設計。它能夠處理大流量的典型氣體——氫氣與氨氣。
處理水溶性物質的濕式洗滌器
在處理工業廢氣中的水溶性污染物時，濕法洗滌是一種高效的工藝過程。我們的濕式洗滌器主要在半導體行業中作為使用點（POU）濕法處理系統進行使用。它們將被緊密安裝在真空泵后面，可以按最佳方式保護工廠的廢氣系統免于污染和腐蝕。維護將會迅速而又輕松。
微米級與納米級顆粒物的靜電收集
靜電過濾器利用電場清潔工業廢氣，去除顆粒物。我們的系統可以過濾包含微米級與納米級顆粒物或者包含氣溶膠的工業廢氣，例如：在 TFT 行業中出現的那些廢氣。
為了處理可冷凝有機化合物，我們提供了靜電冷凝分離器。
咨詢與技術選擇
在現場分析情況之后，我們的應用專家將執行適當技術的選擇。關于工藝過程工具、真空泵、氣體類型與流量以及可用運行材料的信息具有決定性意義。
為了確保長期運行時間與工具可用性，一旦系統投入運行，我們的服務與技術支持就可以根據要求或者在現場可供使用。